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• 產品工藝應用類型有α-Si，SiO2，SixNy，PSG，BPSG等。
• 應用于Si基工藝、化合物、MEMS領域、濾波器、微顯示等領域。
• 可根據用戶的產品需求靈活的配置不同類型的傳送平臺及腔體型號（有多片型及單片型腔體可供選擇），適合院校、研發線、中試線、大規模產線的不同應用需求。
• 可根據用戶應用場景提供不同的工藝配置項，從而達到客戶的不同折射率，不同應力得需求。
• 運營成本低。